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Geometrie/Sensor

Combi

Bei Substratwechsel wird der Sensor automatisch

umgeschaltet.

Wählen Sie den gewünschten Sensor mit dem

Scrollrad aus und bestätigen Sie durch Drücken auf

mode.

Der gewählte Sensor wird im Display angezeigt.

Hinweis:

Die Anzeige der Schichtdicke kann in den Einheiten

µm oder mil gewählt werden (siehe Kapitel

Kalibration: Skala Schichtdicke).

8.3 Sensoreinstellung Combi

Bei Einschalten des Schichtdicken-Modus „Combi“

wird die Messung in der Abfolge Fe - NFe

durchgeführt.

Bei Proben mit ferromagnetischem Untergrund wird

der Vorgang bereits nach der Fe - Messung

beendet.

Bei der Messung auf nichtmagnetischem

Untergrund wird die Abfolge durchlaufen und dauert

deshalb etwas länger.

Hinweis:

Bei eingeschalteter STATISTIK werden alle

Schichtdickenwerte unabhängig von der

verwendeten Sonde in den Speicher übernommen.

Bei falschem Substrat oder zu hoher Schichtdicke

wird „Infi“ in den Speicher geschrieben.

Nach Abschalten des Gerätes bleibt die letzte

Einstellung aktiv.

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